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CHEMRAZ® 656

LOW METALLIC ION CONTENT

낮은 금속이온 함유

켐라즈 656은 낮은 경도를 갖는 과불소 탄성체로 본디드 슬릿 밸브 게이트(Bonded Slit Valve gates) 및 낮은 씰링력과 낮은 공차 같은 특별한 기술적 공정을 위하여 개발되었읍니다. 

 

켐라즈 656은 불소탄성체의 나노 입자 합성물 기술을 이용한 진보화된 화합물로부터 개발되었으며, 낮은 금속 이온 함유량 등 오늘날의 진보된 화학 공정으로부터 탁월한 저항성을 제공합니다.

 

켐라즈 656은 화학기상증착(CVD)나 식각(etch) 및 확산장비(diffusion equipment)등에 추천합니다.

특징 및 장점 

 

  • 우수한 플라즈마 저항성  

  • 낮은 씰링력이나 낮은 공차를 위한 연성의 재질  

  • 고순도 낮은 금속이온 함유

적용

  • Bonded slit valve gates

  • Chamber seals  

  • Window seals  

  • Gas inlet seals  

  • Lid seals

추천 공정 분야

  • Deposition (CVD, PECVD, RPCVD, HDPCVD, APCVD, SACVD, DCVD)  

  • Dry plasma etch  

  • Remote plasma cleans  

  • Dry ashing  

  • Oxidation (LPCVD)  

  • Diffusion   

  • Metalization (CVD, PVD, sputtering, evaporation)

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