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CHEMRAZ® 655

HIGH TEMPERATURE PERFLUOROELASTOMER

고온용 과불소탄성체

켐라즈 655는 회식빛이 도는 흰색 과불소탄성체로 특히 웨이퍼 공정상 작업온도 315°C까지의 고온에서도 견딜수 있도록 개발되었습니다. 

 

켐라즈 655는 뛰어난 내화학성을 제공하며 파티클(particle)의 발생을 최소화합니다.

 

무한한 형상과 단면의 씰 제작이 가능하며 또한 여러 가지 정적/동적(static/dynamic), 건식 공정(dry processing applications)에 다양한 필요를 제공합니다.

특징 및 장점 

 

  • 315°C까지의 사용온도

  • 우수한 물성치

  • 최소한의 오염성

  • 광범위한 내 화학성

  • 무한한 설계의 유연성

적용

  • Door seals

  • Slit valves 

  • Window seals 

  • Isolator valve seals 

  • Lid seals 

  • Gas Inlet seals 

  • KF fitting seals 

  • Chamber seals 

  • Valve seals 

  • Endpoint windows 

추천 공정 분야

  • Rapid thermal processing (RTP)  

  • Oxidation (LPCVD)/Diffusion  

  • Deposition (CVD, PECVD, RPCVD, HDPCVD, APCVD, SACVD, DCVD)  

  • Dry plasma etch  

  • Remote plasma cleans  

  • Dry ashing  

  • Implant anneal

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