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CHEMRAZ® 653

HIGH TEMPERATURE MATERIAL FOR DIFFUSION PROCESSING

확산 공정에 강한 고온의 재질

켐라즈 653은 확산(diffusion), 저압 화학 기상증착(LPCVD) 및 건식 박막 공정(thin dry processing)등의 극심한 요구사항에 부응하기 위하여 특별히 제조된 검은색 과불소탄성체 입니다.

 

켐라즈653은 우수한 압축 복원 능력(superior compression set resistance)을 보여주며 서비스 온도 324°C까지 사용을 추천합니다.

특징 및 장점 

 

  • 탄소가 함유된 재질

  • 오염이 비교적 덜 중요한 시스템에서 이용

  • 고온 공정에 적합

  • 우수한 영구압축 변형율

  • 뛰어난 플라즈마 저항성

적용

  • Quartz rod seals 

  • Bell jar seals 

  • High-temperature valve seals 

  • KF fitting seals

추천 공정 분야

  • Oxidation (LPCVD) 

  • Diffusion

  • Rapid thermal processing (RTP)  

  • Metalization (CVD, PVD, sputtering, evaporation) 

  • Deposition (CVD, PECVD, RPCVD, HDPCVD, APCVD, SACVD, DCVD) 

  • Dry plasma etch 

  • Remote plasma cleans

  • Dry ashing 

  • Implant anneal

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