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CHEMRAZ® 592

HIGH STRENGTH AND PURITY

고강도 및 고순도

켐라즈 592 제품은 고유 첨가물 시스템의 다양한 과불소 탄성체로 개발된 화학적 저항성이 매우 우수한 화합물입니다.

 

이 화합물의 경도는 설치 시 상대 표면 조도의 불일치를 어느 정도 허용하며 높은 씰링 하중에도 잘 견딥니다.

 

신뢰성과 순도가 필수적인 곳에서 정적/동적인(static/dynamic) dry 공정에 중요한 씰로서 적합합니다.

 

켐라즈 592는 온도 240°C까지 사용하도록 추천합니다.

 

특징 및 장점 

 

  • 우수한 물성치

  • 우수한 플라즈마 저항성을 제공하는 불활성 무기물 충진 시스템

  • 우수한 동적/정적 퍼포펀스

적용

  • Slit valve seals

  • Lid seals

  • Endpoint windows

  • Valve seals

  • Window seals

  • Isolator valve seals

  • Gas inlet seals

  • Bell jar seals

  • KF fitting seals

추천 공정 분야

  • Dry Ashing (O2)

  • Oxidation (LPCVD)/Diffusion

  • Metalization (CVD, PVD, sputtering, evaporation)

  • Deposition (CVD, PECVD, RPCVD, HDPCVD, APCVD, SACVD, DCVD)

  • Dry plasma etch

  • Remote plasma cleans

  • Implant anneal

  • Rapid thermal processing (RTP)

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