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CHEMRAZ® 571

DURABLE COMPOUND FOR WET APPLICATIONS WITH HIGH SEALING LOADS

높은 씰링 하중 및 WET 공정을 위한 내구성 화합물

엄격한 씰의 신뢰성과 오염 관리를 요하는 다양한 종류의 반도체 장비 wet 공정용으로 켐라즈 571을 추천합니다.

 

이 씰의 재질은 산과 솔벤트(acid/solvent) 및 초고순도 물(ultrapure H2O)속에서 장기간 정적인(static) 씰링 어플리케이션 뿐만 아니라 또한 높은 씰링 하중 설계시에도 뛰어난 성능을 제공합니다.

특징 및 장점 

 

  • 매우 낮은 오염성

  • 개선된 성능과 높아진 신뢰도

  • 우수한 물성치

  • 검증된 뛰어난 성능

적용

  • Valve seals

  • Fitting and union seals

  • Gasket seals

  • Regulator seals

  • Filter seals

  • Dispensing seals

추천 공정 분야

  • Wet etch (acid, base)

  • Wet stripping (solvents)

  • Wet cleaning (UPDI)

  • Wet metal plating

  • Chemical Mechanical Planarization (CMP)

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